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螺桿真空泵的工作原理是什么?

更新時(shí)間:25/06/29 04:38:06     來(lái)源:nhif.cn
螺桿真空泵是利用兩個(gè)互相嚙合的螺桿在泵殼內(nèi)回轉(zhuǎn),依靠螺桿回轉(zhuǎn)和泵腔在吸氣、壓縮、排氣過(guò)程中的容積變化來(lái)壓縮氣體,從而達(dá)到抽真空的目的。螺桿真空泵工作時(shí),在驅(qū)動(dòng)電機(jī)的帶動(dòng)下,陰陽(yáng)螺桿同時(shí)旋轉(zhuǎn)。在吸氣腔內(nèi),由于陰陽(yáng)螺桿的齒槽互相嚙合,使吸氣腔容積在轉(zhuǎn)子齒的嚙合過(guò)程中逐漸增大,形成局部真空,空氣通過(guò)進(jìn)氣口被吸入泵腔,當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)至吸氣腔與排氣腔相通時(shí),空氣被排出泵外。在排氣腔內(nèi),轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn),由于排氣腔容積在轉(zhuǎn)子齒的嚙合過(guò)程中逐漸減小,將已吸入的空氣壓縮至排氣口排出。螺桿真空泵的排氣壓力由泵體上安裝的安全閥來(lái)調(diào)節(jié),當(dāng)泵內(nèi)的壓力超過(guò)安全閥設(shè)定值時(shí),安全閥將自動(dòng)開(kāi)啟,將壓力釋放到大氣中,以防止泵內(nèi)壓力過(guò)高造成泵內(nèi)零件損壞。螺桿真空泵的螺桿采用特殊材質(zhì)制成,具有良好的耐腐蝕性和耐磨性,能夠適應(yīng)各種氣體的抽吸和壓縮。螺桿真空泵具有較高的抽氣速率和真空度,適用于各種工業(yè)和科研領(lǐng)域,如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空干燥、真空包裝等。螺桿真空泵的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行可靠、維護(hù)方便、噪音低、能耗低、抽速大、真空度高、使用壽命長(zhǎng)等。螺桿真空泵的維護(hù)保養(yǎng)主要包括檢查泵體和軸承的潤(rùn)滑情況、清理泵腔內(nèi)的油污和雜質(zhì)、更換損壞的密封件和軸承、檢查和調(diào)整安全閥的工作壓力等。螺桿真空泵的常見(jiàn)故障包括油溫過(guò)高、油壓低、真空度下降、噪音增大等,這些故障可能由多種
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